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該裝置主要由尾氣儲氣罐、壓力系統、電控系統、變頻壓縮機、鋼瓶組成，尾氣儲氣罐一端與六氟化硫試驗尾氣入口鏈接,用于將六氣化硫氣體暫時保存，尾氣儲氣罐的另一端與變頻壓縮機相連接,用于六氟化硫氣體的壓縮，變頻壓縮機的另一端與鋼瓶連接，最終壓縮后的六氟化硫氣體存儲在鋼瓶內。尾氣儲氣罐內部設置有壓力傳感器,當壓力傳感器數值顯示到設定值時，電控系統開始自動操作變頻壓縮機開始工作，把尾氣儲氣罐內的氣體壓縮于鋼瓶內，當尾氣儲氣罐內壓力降低至大氣壓值時，電控系統操控變頻壓縮機停止工作。

本裝置適用于對六氟化硫濕度儀、純度儀、分解產物測試儀等試驗儀器的試驗尾氣進行回收,可以在不影響六氟化硫試驗儀器則試數據準確度的前提下，對試驗過程中排放的六氟化硫氣體進行回收,實現六氟化硫氣體試驗尾氣的零排放,具有便攜性好回收能力強、適用范圍廣(適用于多種六氟化硫氣體試驗儀)的優點。